数字音频技术(第6版) 251

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　　224数字音频技术（第6版）
　　激光束记录器（LBR）能够通过照相方式把数据螺旋线曝光到玻璃母盘的光刻剂上。LE有一套控制机架，包括计算机、磁带播放机、硬盘驱动器、CD和子码编码器以及诊断设备。
　　录器使用Hed或氩离子气激光，波长分别为442nm、458nm或488nm，数值孔径（NA）
　　为09。激光被一个声光调制器进行强度调制，产生与被编码数据对应的曝光信号。另一束激光用于聚焦和跟踪，它不会影响母盘上的光刻剂。为了产生出这条螺旋形光道，需要把敷有光刻剂的玻璃母盘放置在LBR上，并用激光曝光，随着音频信号的播放并按CD编码，光盘内容就被创建出来。在母盘制作过程中，PQ子码是用码编辑器专门为玻璃母盘生
　　成的，并被调制到CD比特流中
　　成品光盘的质量直接取决
　　的信号特性，比如眼图的对称性、信号调制幅度和光道跟踪等。由复制得到的光盘上凹坑的长度、宽度和边缘角度也受到光刻剂曝光强度和洗印时间的支配。为了保护光盘不受污染，需要在LBR内部进行严格地空气过滤。虽然其光学结构与消费级CD播放机中的光学结构类似（激光源、偏振光分光器、物镜），但整个机械装置是以更高等级制造的，特别是在对振动的隔离上。例如，唱头模块可能由一个空气悬浮撬车支撑并移动。整个母盘制作过程是在计算机控制下自动完成的。
　　在用激光束记录器曝光以后，玻璃母盘被一台自动洗印机洗印显影。显影液对旋转的盘面进行冲洗，移除光刻剂中被曝光的区域，在光刻剂中留下各个凹坑。在显影过程中，用束激光检测光刻剂的深度，当达到合适的刻蚀深度时停止洗印显影；洗印出来的凹坑形成了一个衍射光栅，对多束光进行反射。各光束的相对强度被监测，用以指示凹坑的几何尺寸。如前所述，在确定凹坑实际深度的最佳尺寸时必须要进行折中。实际生产中凹坑深度的典型值为011um到0.13um。在刻蚀以后，一层金属涂层（通常是银）被蒸发沉积到光刻胶层之上这样，玻璃母盘已经可以用于电铸成
　　在一些情况中使用了非光刻（或"直接效应"）母盘制作技术。这种技术使用的玻璃板敷有一层染料聚合物记录层，LBR把输入信号指向一个声光调制器，用它控制记录激光通过使用一束蓝色激光把凹坑物理地直接刻蚀在母盘的记录层中。这种系统提供了"写后直读（Direct-Read-After-Write，DRAW）"功能，因此在母盘制作过程中可以对被记录的信号进连续地监测。一束尾随的红色激光恰好聚焦在盘面上记录激光的聚焦点之后，但它不会影响记录。取而代之的是，这束激光读取出数据，因此分析设备就能动态地控制刻蚀激光的功率以及其他关键参数，从而确保最合适的凹坑几何尺寸，并对EFM信号解码以评估数据错误率，这将减少制造时间o。
　　7.7.3电铸成型
　　涂金属以后的母盘被转移到一间电镀室中，用电镀过程生产出金属压模。首先用蒸发